PFA晶圓盒是一種用于半導(dǎo)體制造和實(shí)驗(yàn)室中承載、清洗和存放晶圓片（硅片）的容器，具有耐腐蝕、耐高溫、防污染等特性。

1. 材質(zhì)與特性

• 材質(zhì)：PFA（全氟烷氧基樹脂）是一種高性能的氟塑料，具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和耐高溫性能。

• 耐腐蝕性：能夠耐受強(qiáng)酸（如氫氟酸、王水）、強(qiáng)堿和各種有機(jī)溶劑，適用于半導(dǎo)體蝕刻和清洗工藝。

• 耐高溫：使用溫度范圍廣泛，通常在-200°C至+260°C之間，適合高溫環(huán)境下的應(yīng)用。

• 防污染：金屬元素雜質(zhì)含量極低（低于0.01ppb），滿足高純度實(shí)驗(yàn)要求。

2. 主要用途

• 半導(dǎo)體制造：用于承載和清洗晶圓片，適用于蝕刻、顯影等工藝。

• 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用：用于新材料研發(fā)、樣品存放和清洗，確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的純凈。

• 太陽(yáng)能電池：用于太陽(yáng)能硅片的清洗和承載，材質(zhì)穩(wěn)定且不易變形。

3. 常見規(guī)格

• 尺寸：常見尺寸包括直徑80mm、85mm、120mm、128mm等，可根據(jù)需求定制。

• 結(jié)構(gòu)：通常為半透明一體成型，表面光潔無(wú)殘留，便于觀察和操作。